10.3969/j.issn.1008-0570.2004.09.055
半导体芯片电路线宽显微测量精度分析
在显微图像的尺寸测量中,由于各种因素的影响,测量结果不可避免地存在着误差.为了充分认识并进而减小这些误差,提高测量精度,文章对标准件标定、显微光学系统的景深、对焦、光照亮度以及温度等影响测量结果的误差源作了细致的研究,给出了半导体芯片电路线宽显微测量结果及精度分析.
半导体芯片、显微测量、精度分析
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TN46(微电子学、集成电路(IC))
2004-09-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
112-113,18