微机电系统的发展与应用

摘要：

微机电系统(MEMS)是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域.本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程,讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科,着重阐述了器件的具体分类、结构组成、各类器件的具体特点及其在工程技术中的实际应用,并指出其发展趋势及对诸多领域的深远影响.

关键词：MEMS、传感器、执行器、纳米技术、工艺

分类号：TP271+.4(自动化技术及设备)

在线出版日期：2003-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1-2,32