MOCVD计算机控制系统的设计与实现

摘要：

MOCVD是金属有机化学气相沉积技术的简称,即通过MOCVD设备,在衬底上生长材料晶体的一种方法.用这种方法生长出来的晶体可用于各种芯片的制造.这是当前研制新型光电材料的重要方法之一.针对手工操作的种种不便,我们在MOCVD系统中引入了计算机控制,实现了用微机控制MOCVD生长的全过程.本文详细介绍了该MOCVD计算机控制系统的设计及实现方法,重点论述了其中的软件设计与实现方法.

关键词：MOCVD、多线程、实时监控、BDE

所属期刊栏目：17

分类号：TP2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2005-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：14-15