金属蚀刻技术

摘要：

金属蚀刻技术历史悠久,是一项既古老又新颖、既普通又尖端的技术.随着新技术的发展,新产品的开发,金属蚀刻技术发挥越来越重要的作用.本文较全面地介绍这一技术,深入浅出,实用性强.

关键词：蚀刻、蚀刻剂、光致抗蚀油墨、侧腐蚀

所属期刊栏目：31

分类号：TS91

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：13-16