基于KMC方法的Ag膜生长初期的计算机模拟

摘要：

文中针对银的晶格特征和银薄膜的生长特性，建立了基于KMC( Kinetic Monte Carlo)方法的银薄膜生长模型，模拟了单层Ag膜生长初期的表面形貌。在周期性基底且层间原子间采用交错排列的方式条件下，采用EAM( Embedded Atom Method)计算原子间作用势，并针对金属Ag的晶格特征及其成膜特性进行建模，编程，实验。实验结果表明：在温度不变的情况下，随着覆盖度的增加，表面原子的数量增多，且出现二维岛状生长；岛的生长形貌经历了从分散到凝聚生长的过程；原子岛的数量减少，同时岛的尺寸在增大。

关键词：银薄膜生长、蒙特卡洛方法、嵌入式原子方法、计算机模拟

分类号：TP391.9(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目11002086/A020415,51103083

在线出版日期：2015-01-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：164-167,172