单晶硅纳米切削过程中微沟槽结构金刚石刀具切削性能的分子动力学模拟

摘要：

基于分子动力学,利用LAMMPS和OVITO软件对单晶硅纳米切削过程进行模拟,研究了 V形微沟槽结构对金刚石刀具切削性能的影响.结果表明,在金刚石刀具后刀面构建一定深度的V形微沟槽能够减少工件亚表面损伤,同时也对工件加工质量及刀具抗磨损性能产生了明显影响,当微沟槽深度为0.75 nm时,金刚石刀具切削性能最佳.

关键词：单晶硅、纳米切削、微沟槽结构、金刚石刀具、切削性能、分子动力学模拟

所属期刊栏目：46

分类号：TG501(金属切削加工及机床)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2023-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：47-52