正交相三氧化钼湿度敏感性能的第一性原理研究

摘要：

正交相三氧化钼(α-MoO3)表面暴露原子较多,在湿度探测方面具有较大的应用潜力.本文利用Material Studio软件构建带有氧缺陷的非化学计量比α-MoO3结构模型,利用基于密度泛函理论的第一性原理计算得到端氧缺陷α-MoO3的形成能最低(约4.41 eV).研究了含有端氧缺陷的非化学计量比α-MoO3作为基体对不同方向放置H2O分子的吸附行为,发现H2O分子沿垂直方向O端或水平方向以H端与基体表面Mo5+作用时吸附较强,从H2O分子向基体材料释放的电荷分别为0.11e和0.12e,使基体中载流子的密度增大并处于低阻态,进而产生对H2O分子的敏感性能.该计算结果和文献实验结果一致.

关键词：正交相三氧化钼、非化学计量比、湿度敏感、密度泛函理论

所属期刊栏目：65

分类号：TN304.2(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金项目51802109;湖北省教育厅中青年人才项目Q20182903

在线出版日期：2019-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：37-42