10.14188/j.1671-8836.2015.05.007
碳含量对TiCN涂层的结构和力学性能的影响
采用多弧离子镀技术,以N2为氮源,C2H2为碳源,Ti为靶源,在单晶硅和硬质合金衬底上沉积TiCN硬质涂层,系统地研究制备工艺对TiCN涂层的结构、形貌、硬度及摩擦学性能的影响.用X射线衍射、原子力显微镜和扫描电子显微镜测量了涂层的形貌和晶体结构;用HX-1000显微硬度计和HH-3000划痕仪测量了涂层的硬度和结合强度.研究结果表明:TiCN和TiN涂层同为单相的NaCl型面心立方结构;在优化条件下制备的TiCN涂层的最高硬度为38.5 GPa,远高于TiN涂层的27.9 GPa硬度;TiCN涂层与硬质合金的膜基结合力超过70 N.
多弧离子镀、TiCN、显微硬度、结合力
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O484(固体物理学)
国家科技部国际合作项目2015DFR00720;中央高校基本科研业务费专项资金资助2012202020217
2015-11-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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