Fe离子注入ZnO产生的缺陷及磁学性能研究

摘要：

氧化锌(ZnO)单晶在室温下注入了能量在50～380 keV之间,总剂量为1.25×1017/cm2的Fe离子.利用慢正电子束技术研究了离子注入产生的缺陷.正电子湮没多普勒展宽测量表明,离子注入产生了大量的空位团.在经过400℃以下的较低温度退火后,这些空位团的尺寸进一步增大,随后在高温退火后空位团开始恢复,经过700℃以上退火后大部分缺陷已经消失,而在1 000℃退火后,所有离子注入产生的缺陷得到消除.X射线衍射测量也表明离子注入产生了晶格损伤,且经过700℃退火后基本得到恢复.另外,在700℃退火的注入样品中还观察到金属Fe的衍射峰,表明Fe离子注入ZnO形成了Fe团簇.磁学测量显示Fe注入的ZnO中表现出了铁磁性.经过700℃高温退火后其磁性并没有发生明显变化.这说明Fe离子注入的ZnO中缺陷对其铁磁性没有影响,铁磁性可能来源于注入的Fe离子.

关键词：氧化锌(ZnO)、离子注入、缺陷、正电子湮没、铁磁性

所属期刊栏目：59

分类号：O474(半导体物理学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目11075120

在线出版日期：2013-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：393-397