纳米多孔TiO2薄膜的制备与表征

摘要：

以TiCl4为前躯体,两亲性三嵌段共聚物F38为模板剂,Si（100）为衬底,采用溶胶-凝胶法和旋涂涂膜工艺,制备了孔径可调的纳米多孔TiO2薄膜.研究了聚合物模板浓度与TiO2薄膜的纳米孔形态的关系.随着模板剂含量的增加,薄膜中介孔密度随之增加,约大于15%便发生介孔连通,连通后介孔成蠕虫状.同时,研究了不同的退火温度及退火方式对纳米TiO2薄膜晶相的影响.单次退火4h（600～800℃）为锐钛矿相、热稳定性好,而等时退火容易生成锐钛矿相/金红石相的混晶.

关键词：溶胶-凝胶、二氧化钛、介孔薄膜

所属期刊栏目：58

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：基金项目:国家自然科学基金10975108,10974149;教育部博士点新教师基金20090141120069;武汉大学自主科研项目1081004

在线出版日期：2012-09-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：189-192