纳米多孔TiO2薄膜的制备与表征
以TiCl4为前躯体,两亲性三嵌段共聚物F38为模板剂,Si(100)为衬底,采用溶胶-凝胶法和旋涂涂膜工艺,制备了孔径可调的纳米多孔TiO2薄膜.研究了聚合物模板浓度与TiO2薄膜的纳米孔形态的关系.随着模板剂含量的增加,薄膜中介孔密度随之增加,约大于15%便发生介孔连通,连通后介孔成蠕虫状.同时,研究了不同的退火温度及退火方式对纳米TiO2薄膜晶相的影响.单次退火4h(600~800℃)为锐钛矿相、热稳定性好,而等时退火容易生成锐钛矿相/金红石相的混晶.
溶胶-凝胶、二氧化钛、介孔薄膜
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O484.1(固体物理学)
基金项目:国家自然科学基金10975108,10974149;教育部博士点新教师基金20090141120069;武汉大学自主科研项目1081004
2012-09-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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