脉冲激光沉积法制备La0.5Sr0.5CoO3薄膜及其结构和表面特性

摘要：

利用脉冲激光沉积法在(001)取向的LaAlO3(LAO)衬底上实现了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜的外延生长.主要研究了衬底温度(Ts),激光能量(El)和氧气压强(pO2)对薄膜结构和表面形貌的影响.X射线衍射结果显示在Ts＝700～850 ℃的范围内沉积的LSCO薄膜都具有c轴取向.从扫描电子显微镜和原子力显微镜照片可以看出上述3个沉积参数中,氧压对LSCO薄膜表面形貌的影响最为显著,较低氧压下沉积的薄膜具有较光滑的表面.通过实验,确立了能够制备同时具有c轴取向和光滑表面的薄膜的最佳沉积参数范围.

关键词：La0.5Sr0.5CoO3、外延生长、脉冲激光沉积、薄膜

所属期刊栏目：50

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金50125309

在线出版日期：2004-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：320-324