TiO2薄膜的结构和光学性质的研究

摘要：

以金属钛为靶材,用反应射频溅射法制备了TiO2薄膜,并在600～900℃下进行了热处理.经XRD测量,在600～800℃下TiO2薄膜为锐钛矿和金红石两种结构的混合态,在900℃下TiO2薄膜为纯金红石结构.研究TiO2薄膜的SEM照片和UV-vis透射光谱发现,不同的热处理温度会影响TiO2薄膜中锐钛矿和金红石两种结构的比例,从而导致TiO2薄膜的微观形貌、折射率、禁带宽度等性质的变化.

关键词：TiO2薄膜、结构特性、光学性质

所属期刊栏目：48

分类号：O484.4+1(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金59871033

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：593-596