三氧化钼薄膜的制备和结构研究

摘要：

采用溶胶-凝胶法成功制备了三氧化钼(MoO3)薄膜. 首先,以CH3COCH2COCH3,MoO3,C6H5CH3和HOCH2CH2OCH3为原料合成三氧化钼溶胶和凝胶. 凝胶的热重和差热分析(TG-DTA)显示三氧化钼的晶化出现在508 ℃附近的140 ℃范围内. 其次,利用旋转涂布法在硅(111)基片上通过450 ℃退火处理制备了三氧化钼薄膜.XRD和FTIR谱表明薄膜为α-MoO3相. SEM形貌像显示薄膜中晶粒分布均匀致密,在基片表面无择优取向;晶粒尺度范围在0.5～1 μm之间.

关键词：溶胶-凝胶、三氧化钼、薄膜

所属期刊栏目：48

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金59872023

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：589-592