蒙特卡罗法模拟薄样品中低失能近轴背散射电子

摘要：

用蒙特卡罗方法模拟计算了薄样品中的高能同轴背散射电子的背散射率和厚度衬度. 结果指出:用较大的探测能量窗口和大的探测角可在确保厚度衬度的前提下增强信噪比. 大的入射能量虽有利于厚度衬度,但不利于提高信噪比. 薄膜沉积在异质衬底上的模拟结果显示,虽然背散射率中包含有衬底材料的信息,但还是膜层厚度的单调变化函数,有可能通过背散射率的测量来判定薄膜厚度.

关键词：扫描电子显微镜、同轴背反射电子、蒙特卡罗模拟、薄膜

所属期刊栏目：47

分类号：TN16(真空电子技术)

资助基金：国家自然科学基金10045001,10005005;教育部高校骨干教师资助计划;武汉大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：91-94