同轴背散射电子相互作用体积的蒙特卡罗模拟

摘要：

根据利用高能同轴背散射电子的扫描电子显微镜的工作原理,用蒙特卡罗方法模拟了电子束在样品中的相互作用范围,分析了被探测电子的出射深度分布、计算了逸出面密度分布、平均进入深度和平均逸出距离,讨论了上述量与入射电子能量、能量损失窗口、探测角及样品体密度之间的关系.结果表明,入射电子能量、能量损失窗口和样品体密度对相互作用范围影响较大,而探测角对相互作用范围基本没有影响.最后指明了改变分析范围的途径.

关键词：扫描电子显微镜、背反射电子、蒙特卡罗模拟、相互作用范围

所属期刊栏目：46

分类号：TN16(真空电子技术)

资助基金：中国科学院资助项目10045001;国家留学回国人员科研启动基金;武汉大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：597-600