低失能近轴背散射电子的蒙特卡罗模拟计算

摘要：

基于低失能近轴背散射电子的新型分析扫描电子显微镜的3个可调参数:入射能量、探测能量和探测角,本文用蒙特卡罗方法模拟入射电子在被分析样品中的运动轨迹,分析和讨论了上述3个参量对背散射率、原于序数衬度、形貌衬度、信噪比和分辨率等的影响,结果表明蒙特卡罗模拟计算对实验调试具有指导作用.

关键词：扫描电子显微镜、背散射电于、蒙特卡罗方法、模拟计算

所属期刊栏目：46

分类号：TN16(真空电子技术)

资助基金：中国科学院资助项目10045001;国家留学回国人员科研启动基金;武汉大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：331-334