10.3321/j.issn:1671-8836.2000.03.019
低失能近轴背散射电子的蒙特卡罗模拟计算
基于低失能近轴背散射电子的新型分析扫描电子显微镜的3个可调参数:入射能量、探测能量和探测角,本文用蒙特卡罗方法模拟入射电子在被分析样品中的运动轨迹,分析和讨论了上述3个参量对背散射率、原于序数衬度、形貌衬度、信噪比和分辨率等的影响,结果表明蒙特卡罗模拟计算对实验调试具有指导作用.
扫描电子显微镜、背散射电于、蒙特卡罗方法、模拟计算
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TN16(真空电子技术)
中国科学院资助项目10045001;国家留学回国人员科研启动基金;武汉大学校科研和教改项目
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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