一种新型分析扫描电子显微镜

摘要：

研制了一种用于样品成分分布分析的新型结构扫描电子显微镜.在该电镜中,同轴和近轴背反射电子经物镜聚焦和滤波后穿过探测器窗口被接收,与常规电镜相比,由这些高能同轴背反射电子所成的像反映了样品表面的不同成分分布信息.其形貌衬度被有效地抑制.这种新型电镜使得用一个探测器进行元素成分分布分析成为现实,为科学研究提供了一种简单实用的分析手段.

关键词：扫描电子显微镜、背反射电子、成分分析

所属期刊栏目：46

分类号：TN16(真空电子技术)

资助基金：中国科学院资助项目10045001;国家留学回国人员科研启动基金;武汉大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：91-94