阵列式音圈电机定位控制系统的设计

摘要：

根据光刻机光场均匀性校正器的定位控制特点,设计了阵列式音圈电机定位控制系统,提出了复合非线性反馈(CNF)结合干扰观测器(DOB)的控制算法.根据设计的控制系统物理模型,完成算法设计与仿真比较,并在实验装置中实现定位控制.仿真和实验结果表明,阵列式音圈电机定位控制系统和控制算法能够满足实际需求,且能抑制外界扰动,具有响应速度快、超调量低、定位精度高和鲁棒性强等优点.

关键词：均匀性校正器、音圈电机、CNF、DOB

所属期刊栏目：53

分类号：TM359.4;TP273(电机)

资助基金：04国家重大专项2016ZX04002007

在线出版日期：2020-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：25-30