关于新型功能材料精密微驱动器的研究综述

摘要：

精密微驱动器是微机电系统的核心部件,是实现微器件运动的关键.微驱动器的工作原理主要是利用物体的物性效应(物理效应、 化学效应、 生物效应等)实现对目的物的驱动与操作,本质就是将光、 电、 热等多种形式的能量转换成为机械能输出,是近几年研究的热点.文章全面综述了电热式、 磁致伸缩、 电磁、 压电陶瓷、 静电和形状记忆合金几种微位移驱动器的原理、 结构、 特性及应用领域.

关键词：微驱动器、静电驱动、形状记忆合金驱动、电磁驱动、电热驱动、压电驱动、超磁致伸缩驱动

所属期刊栏目：52

分类号：TH16;TP212

资助基金：国家自然科学基金51075001;安徽理工大学青年教师科学研究基金12870

在线出版日期：2019-08-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：72-81