行走式尺蠖压电直线驱动器研究现状及关键技术综述

摘要：

尺蠖压电驱动器具有大行程、高精度、大输出力、快速响应、无磁场影响等优点,在超精密定位领域具有广泛的应用前景.而行走式尺蠖压电驱动器又以箝位机构结构简单、刚度和动态性能好,中间驱动机构偏摆小,整体体积小,运动稳定性好等特性引起世界各国的关注.在阐述行走式尺蠖压电驱动器的本质、组成结构及运动原理的基础上,对其国内外研究现状及其关键技术进行了分析,并对其发展趋势进行了展望.

关键词：压电驱动器、尺蠖运动、箝位机构、微位移检测、PID控制

所属期刊栏目：45

分类号：TP272(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金50905105;机器人技术与系统国家重点实验室开放课题SKLRS-2010-MS-02

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：82-85