基于面内模态的直线超声微电机研究

摘要：

对矩形压电振子进行了研究,对其结构进行了改进,提出了一种直线超声微电机,介绍了其结构和工作原理,运用ANSYS有限元分析软件建立了压电振子的有限元模型,对压电振子进行了模态分析和谐响应分析,对压电振子的纵向和弯曲振动的面内模态的简并进行了分析.分析发现改进后的压电振子激振频率降低,频率点得到优化；同时,压电振子的振幅也明显变大.研究结果为纵弯面内复合模态的直线超声电机制作和实验研究提供了依据.

关键词：直线超声电机、模态分析、有限元、超声微电机

所属期刊栏目：45

分类号：TM359.9;TM359.4(电机)

在线出版日期：2012-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：30-34