静电谐波微电机的静电-结构耦合有限元分析

摘要：

该文介绍了静电谐波微电机的基本工作原理.通过分析系统中存在的静电结构耦合关系,并进行离散化处理,建立了结构场和静电场的有限元耦合平衡方程.讨论了静电场和结构场之间存在的耦合条件和各场的边界条件.由结点映射推导出位移和力在两物理场交界面上传递的表达式.总结了静电-结构耦合问题的迭代求解框图和详细步骤.通过对系统的有限元仿真,得到了柔轮的径向位移分布及其随系统参数的变化规律.所得的结果为进一步研究微电机的性能提供了依据.

关键词：静电谐波、静电-结构耦合、耦合条件、边界条件、有限元

所属期刊栏目：43

分类号：TM359.9;TH132.2(电机)

资助基金：国家自然科学基金项目50775195

在线出版日期：2010-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：4-8