10.3969/j.issn.1001-6848.2008.08.020
电磁波驱动PN结微电机原理及结构
微机电系统(MEMS)倍受世界各国的重视.微驱动机构是微机电系统的动力核心.介绍一种以电磁波驱动PN结的微电机新驱动原理.
电磁波、PN结、微电机、原理、结构
41
TM38(电机)
2008-10-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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10.3969/j.issn.1001-6848.2008.08.020
电磁波、PN结、微电机、原理、结构
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TM38(电机)
2008-10-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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