微电机制造工艺现状及发展动向

摘要：

微电机行业是技术密集型、资金密集型和劳动密集型行业.微电机制造工序多,工艺装备数量大,加工精度要求高,一些微特电机还有特殊的使用环境要求.分析了当前我国微电机行业制造工艺技术的特点和状况,阐述了今后微电机制造工艺技术的发展趋势和方向.

关键词：微电机、制造工艺、特点、现状、趋势、综述

所属期刊栏目：40

分类号：TM305;TM38(电机)

在线出版日期：2007-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：72-77