单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析

摘要：

在单晶硅生产过程中，对单晶硅提拉速度有十分严格的要求，针对实际情况，本文设计并分析了一种实用的、在极低转速下实现无级调速的控制系统。用该系统来控制提拉机械，具有结构简单、造价低的特点，实测表明，系统的性能满足生产要求，现已投入批量生产。

关键词：单晶炉、提拉速度、速度控制系统

所属期刊栏目：34

分类号：TM301.2(电机)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：53-55