一种具有源漏辅助栅的低肖特基势垒MOSFET

摘要：

为改善低肖特基势垒MOSFET器件的性能表现,提出一种具有源漏辅助栅的低肖特基势垒MOSFET.该器件采用鳍型主控栅,体硅两侧各设置一个浮栅作为辅助栅,通过最外围控制栅向浮栅冲入电荷.通过与传统低肖特基势垒场效应晶体管的输出特性曲线对比,分析所提出器件结构的性能优势;分析浮栅电荷量、氧化层厚度对器件的影响,并依此进行结构优化.经仿真分析表明,器件在工作时两侧的浮栅有助于实现更高的正向导通电流和更低的反向泄漏电流,大大降低器件的静态功耗.

关键词：浮栅、肖特基势垒MOSFET、辅助栅

所属期刊栏目：44

分类号：TN386.3(半导体技术)

在线出版日期：2023-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：22-25