10.3969/j.issn.1002-2279.2023.03.011
联动薄膜压力敏感芯片测试方法研究
在MEMS技术受到广泛应用的趋势下,为适应未来发展的需要,以电容式压力敏感芯片为例,设计一种针对联动薄膜压力敏感芯片电容检测的测试方法,可对压力敏感芯片的输出电容做出准确测量.该测试方法涉及电路中的电容时间转换电路、时间脉宽转换电路、脉宽提取器以及数字输出电路,对各个电路模块进行电路设计论证,分析电路功能的完善性,并绘制版图,按照测试方法合并所有电路模块进行整体电路仿真及测试.实验结果表明测试方法达到设计预期.
微机电系统、联动薄膜、电容式压力敏感芯片、电容-时间转换电路
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TP212;TN407(自动化技术及设备)
2023-07-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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