一种基于铂电阻的硅基MEMS热式流量传感器芯片研制

摘要：

针对高精度微小流量测量场合对高稳定流量计的应用需求,介绍一种基于铂电阻的硅基MEMS热式流量传感器芯片的研制.利用铂电阻作为加热和测温电阻,提升MEMS流量传感器芯片的稳定性.将铂电阻制作于悬空介质层上,提升MEMS流量传感器芯片的响应速度和灵敏度.通过有限元仿真,优化MEMS流量传感器的芯片结构,使其铂电阻TCR与响应速度都有良好表现.通过优化封装结构,封装后的MEMS流量传感器芯片在0～200 mL/min范围内具有较好的稳定性和响应,测量精度小于测量值的 0.8%,满足绝大部分同类流量测量的技术需求.

关键词：微电子机械、热式流量传感器、铂电阻

所属期刊栏目：44

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2023-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-14