一种负反馈式双极结型晶体管工艺实现

摘要：

利用负反馈电路对放大器提高增益稳定性、减少非线性失真、拓展通频带宽、改善输入输出电阻的作用,基于实际生产,设计并实现一款带电阻双极结型晶体管产品.在普通晶体管基础上,利用LPCVD工艺淀积多晶硅,并对其进行离子注入,充当负反馈偏置电路中的电阻结构.以典型半导体加工工艺先后实现基极、发射极、通孔、多晶硅电阻、电极、保护膜以及集电极的制备,对电路成品进行详细性能测试并投入生产.该产品EDS特性测试良率高达99.4％,放大倍数均为200以上.

关键词：双极结型晶体管、半导体工艺、负反馈晶体管、离子注入、多晶硅电阻

所属期刊栏目：44

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：辽宁省省级教改项目

在线出版日期：2023-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-12