一种碳化硅器件的测试技术研究

摘要：

鉴于碳化硅材料在集成电路领域的巨大优势,为进一步提高电路研发生产水平,形成高效而完善的器件测试流程,以某款碳化硅器件为测试对象,为其专门设计一套测试方法.方法基于对碳化硅材料的特性与工作原理的分析,合理选取测试条件与测试设备,并实际进行测试,获得击穿电压、正向电流、结电容等参数的详细数据.测试结果表明,方法能够准确把握该类碳化硅产品的关键参数指标,符合行业标准,具有一定的实用价值.

关键词：碳化硅、器件测试、肖特基二极管

所属期刊栏目：44

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2023-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：14-16