超大量程电容式加速度敏感结构仿真分析

摘要：

为适应钻地导弹、穿甲导弹等军事应用场景对加速度传感器高过载、大量程、高线性的需求,对基本MEMS加速器结构加以改进,提出一种超大量程电容式联动薄膜加速度敏感结构.通过COMSOL Multiphysics多物理场仿真软件,采用控制变量法,对结构进行有限元分析和仿真优化,确定结构的具体尺寸和性能参数,在保证量程需求的前提下进一步提高线性度、灵敏度和抗过载特性,并根据结构特点和实际条件确定基本工艺流程.仿真分析结果进一步验证了该结构的工艺可行性及应用优势.

关键词：微机电系统、加速度敏感结构、超大量程、高过载

所属期刊栏目：43

分类号：TH824+.4;TN405

在线出版日期：2022-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24