超级结电场分布仿真分析

摘要：

为详细研究超级结体内独特的二维电场分布,通过Silvaco软件建立半导体超级结器件基本结构(超级结PiN),展开直观的定量仿真分析.在仿真中对漏极施加正向电压,得到电场分布图和包括电场峰值、谷值在内的多个特征点.通过连接特征点得到四类特征电场线,沿着各个特征电场线观察其电场变化,验证纵向电荷场对横向电荷场的调制作用.对传统超级结模型进行优化,添加N-缓冲层仿真出半超结P(或N)漂移区中心电场分布,并与传统结构进行对比.

关键词：超级结器件;二维电场分布;特征点;特征电场线;半超结;Silvaco仿真

所属期刊栏目：43

分类号：TN386(半导体技术)

在线出版日期：2022-03-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

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