扭摆式MEMS电容加速度计动态性能分析

摘要：

针对扭摆式MEMS电容加速度计的结构及功能特点,建立系统特征模型,从检测质量、弹性梁、固定端和检测电极等方面详细探讨器件工作原理及动态性能,并通过数学推导得出系统刚度、转动惯量、扭转系数和阻尼系数的解析公式.针对一组特定的结构参数,在气体压强为1标准大气压和100 Pa时,对具有不同厚度薄膜气体的系统动态性能进行分析.探讨不同气体压强条件下对应的阻尼状态及其对动态性能的影响.实验最终得到该MEMS器件获得最佳动态响应特性时对应的压强值与气体薄膜厚度值.

关键词：MEMS器件;扭摆式加速度计;压膜阻尼;雷诺方程;动态性能

所属期刊栏目：42

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2021-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：33-37