基于迭代学习控制的划片机高精度运动误差补偿

摘要：

集成电路封装技术快速发展,作为电子元器件封装关键设备的划片机精度也日益提高,为顺应这一趋势,针对划片机重复加工的执行过程特点,设计一种基于数据驱动的神经网络迭代控制方法.该方法通过不断修正控制输入,使得跟踪误差逐渐减小,提高重复定位精度.通过仿真分析得出,神经网络迭代控制方法基于划片重复运行的特点,仅利用输入输出数据,完成对零件加工过程的改善,可有效提高运动精度,实现了误差补偿.

关键词：划片机、神经网络、迭代控制、重复定位精度

所属期刊栏目：42

分类号：TP273(自动化技术及设备)

在线出版日期：2021-03-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：58-61