FMCS在洁净厂房工程上的应用

摘要：

要实现微电子洁净厂房的正常运转,离不开与之配套的电力、空调、通风、排风系统、废气处理系统、纯水系统、中温冷冻水系统、压缩空气、特气及大宗气体纯化等外围条件保障系统.在微电子厂房厂务管理中应用计算机集中监控系统(FMCS)可实现对建筑内各系统及成套设备的集中监控管理,通过统一的通信接口和通信协议,连接相关系统和成套设备所提供的盘柜,并将其关键数据集成到FMCS系统中,实现在统一的平台上进行监视与控制、故障报警和历史数据存储.通过此系统,厂务管理人员在中控室即可准确掌握FAB及CUB内各动力设备运行状态,有利于维护系统及生产环节的紧密结合和协调运转.

关键词：洁净厂房、厂务管理、计算机集中监控系统

所属期刊栏目：41

分类号：TP277(自动化技术及设备)

在线出版日期：2020-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：62-64