金丝键合短尾问题分析及解决

摘要：

金丝键合通常由金丝球超声键合完成.短尾是金丝球键合过程中一个典型的失效模式,详细分析了金丝球键合过程中第二点键合的四个关键步骤,分析了第二点键合形貌形成过程,分别研究了键合第二点各个区域与键合劈刀的位置关系,在此基础上详细分析了造成第二点键合金丝短尾的主要因素和机理,提出劈刀上升前后两种主要的短尾模式,得出键合参数是影响键合质量和键合强度的关键因素,给出了优化改进措施,提出通过降低超声功率和压力,或者通过优化原材料、劈刀,以便使用较低的工艺参数就可以完成键合,解决第二点键合短尾问题.

关键词：引线键合、金丝、第二点、短尾、失效模式

所属期刊栏目：41

分类号：TN305.94(半导体技术)

在线出版日期：2020-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：17-19