薄膜铂电阻元件稳定性测试与分析

摘要：

高端军事应用环境对测温传感器提出了小结构、高精度、良好的长期稳定性等要求,采用溅射方式制备的薄膜铂电阻元件成为了首选.通过分析薄膜铂电阻元件的结构、工艺,探讨影响稳定性的主要因素,包括薄膜缺陷、杂质、电迁移、结构封装应用与温度应力等.选择薄膜铂电阻在水三相点下的电阻值作为稳定性的比较基准,设计了一款不大于3mK的高精度测试系统.通过对薄膜铂电阻元件进行高温电寿命试验和温度冲击试验,评估得出薄膜铂电阻元件长期稳定性达到10mK,满足设计需求.

关键词：薄膜铂电阻、稳定性、水三相点

所属期刊栏目：41

分类号：TM544+.4(电器)

在线出版日期：2020-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：14-16