NPN双极型晶体管抗辐照加固研究

摘要：

为了研究NPN双极晶体管辐照后界面态对直流参数的影响,对工艺优化前的国产某NPN双极晶体管进行110keV电子辐照,研究晶体管直流参数的变化.在实验数据基础上对其损伤特性及损伤机理进行分析,阐述其成因并提出解决方法.同时对工艺优化后的双极型晶体管进行辐照,测试界面态电荷数的变化.实验结果显示出晶体管受辐照后基极电流的变化,以及界面态复合电流所起的作用,也揭示了优化工艺后Si-SiO2界面处的界面态及NPN双极型晶体管归一化电流增益的变化趋势.

关键词：NPN双极晶体管、110keV电子辐照、复合电流、辐照损伤、晶体管归一化电流增益

所属期刊栏目：40

分类号：TN32(半导体技术)

在线出版日期：2019-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-4