电容式MEMS差压压力传感器的设计与制造

摘要：

基于硅-玻璃结构,设计并制造了一种MEMS电容式差压压力传感器,利用由硅MEMS微纳米加工技术制作的硅可动薄膜作为压力的感测电极,利用在Pyrex玻璃上淀积Au薄膜作为固定电极,通过硅-玻璃阳极键合工艺实现硅结构与玻璃的键合.在键合过程中实现Pryex玻璃上的pad与硅可动电极的互联,实现MEMS电容式差压压力传感器功能.所设计的MEMS差压压力传感器的量程范围为0～40kPa,其电容变化范围为5.4～7.3pF,电容变化量率达到了35％.利用二次曲线拟合,满量程误差小于0.4％FS,可满足大部分应用场合的需求.

关键词：微电子机械、压力传感器、电容式传感器

所属期刊栏目：40

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：辽宁省自然科学基金指导计划“面向通用航空应用的MEMS电容式大气压力传感器研究”201602555

在线出版日期：2019-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：7-9