氮化钽薄膜压力传感器研究

摘要：

介绍了溅射薄膜压力传感器的技术要求、工作原理、结构设计、版图设计以及试验结果,并对研究过程中的关键技术及解决方法进行了探讨.传感器是依据溅射薄膜应变原理,选用圆平膜片感压膜片、17-4PH不锈钢作为弹性材料,采用机械研磨抛光技术制备压力传感器弹性体基底,利用直流离子束反应溅射及刻蚀技术制备了氮化钽薄膜压力传感器芯片.最后通过激光焊接、金丝球焊接等工艺封装芯片并对传感器的静态性能进行了标定.传感器具有非线性好、灵敏度高等特性.本文探讨了氮化钽薄膜压力传感器的制备方法,研究了不同热处理工艺下传感器性能的变化.

关键词：薄膜压力传感器、氮化钽、直流离子束反应溅射、热处理

所属期刊栏目：39

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2018-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-13,17