MSA在集成电路测试行业中的应用

摘要：

测量系统分析(简称:MSA)是使用数理统计和图表对测量系统的分辨率和误差进行分析的一种方法,以评估测量系统的分辨率和误差对于被测量的参数来说是否合适,并确定测量系统误差的主要因素.以晶圆级测试数据为例,将MSA运用到集成电路测试行业中,使用MINITAB 16对某多site测试数据进行分析,选用量具R&R研究(交叉)方法,通过测量系统重复性和再现性研究两个J750机台是否存在差异,确定主要误差来源.MSA为验证测量系统的稳定性,不同site间的一致性,为保证集成电路产品质量和可靠性提供了一种有效的数字化手段,很好的保障了产品的良率,降低了企业面对低良率或不稳定测试造成的损失.

关键词：测量系统分析、测试系统误差、集成电路测试、重复性、再线性、稳定性、可靠性

所属期刊栏目：38

分类号：TN47(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2017-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：13-16,21