CPK在集成电路测试行业中的应用

摘要：

制程能力指数(CPK)能反映测量系统处于稳定状态下的实际加工能力,分析评估过程的稳定性和控制能力,它是现代企业用于表示制程能力的指标,实质作用是反映制程合格率的高低.以晶圆级测试数据为例,使用MINITAB 16软件,将CPK应用到集成电路测试行业中,首先对数据进行正态性检验,对符合正态分布的数据进行控制图分析,查看测试过程是否稳定、受控.最后,通过Capability Sixpacks工具考察处在稳定状态下的测量系统在某multi-site测试下的实际加工能力,并根据CPK五个等级标准,在管理上作出相应的判断和处置,判断是否需要改善制程,为确保产品质量和测试稳定性提供了一种有效方法.

关键词：测量系统、集成电路测试、晶圆级测试数据、制程能力指数、正态性检验、控制图分析

所属期刊栏目：38

分类号：TN47(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2017-06-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：11-14,18