电子元器件失效分析技术及方法

摘要：

随着电子技术的飞速发展，集成电路在各个领域的应用日益广泛，同时对集成电路提出了更高的质量要求，元器件失效分析在提高集成电路可靠性方面有着至关重要的作用。随着集成度的提高，工艺尺寸的缩小，失效分析所面临的困难也逐步增大。以实际工作为依托，对电子元器件的失效分析技术进行了研究与总结，把失效分析工作主要分成失效现象确认、样品制备和保存、电性分析和物理分析四部分，电性分析是物理分析的前提，物理分析的结果是电性分析的目的和佐证。在失效分析中，各个步骤工作配合应用，缺一不可。

关键词：失效分析、电子元器件、可靠性、失效机理、电性分析、物理分析

分类号：TN40(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2015-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-3,7