老炼对集成电路静态电源电流的影响

摘要：

为使用户得到更可靠的集成电路产品，老炼是目前最常用和最有效的一种可靠性筛选试验方法。介绍了集成电路老炼的意义和试验方法，通过研究正常 CMOS 器件和有工艺缺陷的 CMOS器件的静态电源电流随老炼时间的变化曲线，经在老炼过程中多次不同时间测试得出的实验数据，可以清楚地发现器件的早期失效情况。经过分析后可以很好地反馈到器件的生产加工过程中，为集成电路的设计、加工和生产提供良好的数据依据，使集成电路加工工艺不断改善和元器件品质不断改进。指出了老炼在集成电路生产过程中的指导作用，是提高集成电路可靠性的有效手段。

关键词：老炼、可靠性筛选试验、静态电源电流、早期失效、加工工艺、可靠性

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2015-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：7-8,11