10.3969/j.issn.1002-2279.2015.01.008
SPC 研究及其在芯片制造工艺中的应用
统计过程控制(SPC)技术是集生产技术与科学管理于一体的现代工艺质量管理技术。在企业生产过程中,SPC 是生产过程控制的有效手段和工具。SPC 作为一种过程控制方法,运用数理统计概率论的原理,应用统计方法对过程中的各个阶段进行监控,可及时发现生产过程中的异常情况。
统计过程控制、控制图、均值极差图
TN4(微电子学、集成电路(IC))
2015-03-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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