10.3969/j.issn.1002-2279.2014.06.004
5009激光图形发生器曝光实验
激光图形发生器是一种用于图形转化的硬件接口设备,直接影响着掩膜版的加工质量。激光图形发生器曝光过程中出现的曝光偏移、曝光遗漏问题,严重影响了掩膜版加工的质量和成品率。通过实验和分析,总结了产生曝光偏移、曝光遗漏的一些原因。
激光图形发生器、掩膜版、曝光
TN305.6(半导体技术)
2015-01-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
12-13
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10.3969/j.issn.1002-2279.2014.06.004
激光图形发生器、掩膜版、曝光
TN305.6(半导体技术)
2015-01-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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