10.3969/j.issn.1002-2279.2014.05.005
NiCr势垒腐蚀工艺技术
传统的以NiCr为势垒层的肖特基产品在势垒合金完成后使用王水(硝酸:盐酸=1:3)去除多余的NiCr,但此方法过程不易控制,形成的势垒区也不十分平坦,而使用硝酸铈铵溶液去除NiCr不仅过程容易控制,且成品率高。通过对两种方法去除NiCr的对比,找到了更合适的肖特基产品的NiCr势垒层腐蚀方法。
硝酸铈铵、王水、NiCr
TN4(微电子学、集成电路(IC))
2014-11-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
14-15