基于图像处理的晶体生长直径检测技术

摘要：

针对单晶硅生长过程中的直径测量,提出一种“不在同一条直线上的三点确定圆”的直径测量算法.首先对获取到的单晶生长图像进行图像预处理,提取单晶体的边缘信息,然后基于“不在同一条直线上的三点确定圆”的原理,对部分“释热光环”提取特征点,从而获取硅单晶直径像素值,再通过量纲转化把直径像素值转化为长度值.试验表明,该算法获得的硅单晶直径的准确率满足直径检测系统的要求.

关键词：VC++、图像处理、提取特征点、直径测量

所属期刊栏目：34

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2013-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-19