PLC在半导体设备改造上的应用

摘要：

四英寸半导体设备多为上个世纪80年代初产品,经过30余年的运行,设备面临着老化严重,故障率高,配件短缺等问题.受当时技术水平的限制,设备普遍自动化程度不高.为克服以上问题我们采用可编程控制器(PLC)对老旧设备进行改造.详尽介绍了现阶段工业控制领域比较先进的PLC控制技术及其应用案例,为今后的设备改造及设计提供了更为广阔的路径.

关键词：可编程控制器、半导体、工业控制

所属期刊栏目：34

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2013-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：10-11