NiCr势垒肖特基技术

摘要：

介绍了NiCr势垒的肖特基工艺流程.以S2845产品为例,讲解了肖特基金属势垒合金,三层金属蒸发,三层金属腐蚀三个工艺流程并做出详细说明,该产品研发成功,进行了大批量生产.同时对成品率的提高进行了阐述.

关键词：NiCr、合金、三层金属

所属期刊栏目：34

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2013-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：4-5,10